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石英玻璃管的類(lèi)型及清洗方式
發(fā)布時(shí)間：
2021-11-12
清洗用過(guò)的管子，有的要1到2天時(shí)間。沖刷石英管內(nèi)壁時(shí)不要按下"水槽啟動(dòng)"按鈕，假如已經(jīng)按下了應(yīng)再按下"水槽結(jié)束"按鈕。沖刷2分鐘后再繼承從管口方向沖刷。拉下防護(hù)門(mén)，然后將水槽清洗時(shí)間設(shè)定為30min，按下"水槽啟動(dòng)"按鈕。沖刷時(shí)應(yīng)仔細(xì)當(dāng)真，不要有殘留未沖到的區(qū)域。
石英管清洗方式：
清洗用過(guò)的管子，有的要1到2天時(shí)間。沖刷石英管內(nèi)壁時(shí)不要按下"水槽啟動(dòng)"按鈕，假如已經(jīng)按下了應(yīng)再按下"水槽結(jié)束"按鈕。沖刷2分鐘后再繼承從管口方向沖刷。拉下防護(hù)門(mén)，然后將水槽清洗時(shí)間設(shè)定為30min，按下"水槽啟動(dòng)"按鈕。沖刷時(shí)應(yīng)仔細(xì)當(dāng)真，不要有殘留未沖到的區(qū)域。
1.清洗職員必需佩戴好防護(hù)眼鏡和防酸手套，然后將備用石英管放入石英管清洗機(jī)靠近里面的槽內(nèi)，管口朝向制絨間，管尾指向擴(kuò)散爐所在方向。
2.將純水注入水槽，水位以能沒(méi)過(guò)石英管尾部的中間通氣管為準(zhǔn)。重點(diǎn)沖刷內(nèi)壁。
3.重復(fù)第6步，再清洗一遍。
4.水槽結(jié)束后，將水槽內(nèi)的水排空。
5.清洗石英管的整個(gè)過(guò)程應(yīng)嚴(yán)格按照擴(kuò)散工序相關(guān)工藝安全尺度進(jìn)行。
6.清洗好后將石英管放到凈化間的指定位置，下面墊上專(zhuān)用的泡沫。
7.清洗槽內(nèi)假如存有以前用過(guò)的氫氟酸溶液，溶液不臟的情況下可以再往里面加10瓶氫氟酸（由出產(chǎn)職員調(diào)配）；假如原有的氫氟酸溶液很臟，則應(yīng)全部排空并洗凈槽體，然后通知出產(chǎn)職員配液；假如槽內(nèi)無(wú)以往剩下的氫氟酸溶液，洗凈槽體后請(qǐng)出產(chǎn)職員配液。
8.將管口和尾管用專(zhuān)用鋁箔密封。
9.酸槽清洗時(shí)間的設(shè)定：
新的石英管只需清洗30min左右。然后把水槍拉到石英管管口，從管口向管尾方向沖刷管內(nèi)壁。拉下防護(hù)門(mén)，將酸槽清洗時(shí)間設(shè)定為30min，按下控制面板中"酸槽啟動(dòng)"按鈕。在酸槽未啟動(dòng)的情況下，應(yīng)每隔2個(gè)小時(shí)將石英管旋轉(zhuǎn)180°。假如是用過(guò)的石英管，應(yīng)以將管內(nèi)壁上沾附的白色五氧化二磷全部脫落的時(shí)間為準(zhǔn)。 2分鐘后，將石英管旋轉(zhuǎn)180°，再用同樣方式?jīng)_刷2分鐘。約5min后用水槍沖刷管尾的四個(gè)小通氣管，重點(diǎn)同樣是管內(nèi)壁。此步清洗時(shí)間應(yīng)不少于15min，以管內(nèi)外壁無(wú)顆粒狀磷化物殘留為清洗干凈的標(biāo)志。
10.清洗職員戴好防護(hù)眼鏡和手套，將石英管從酸槽掏出，輕放入水槽。然后，參照上面第5步的方法用水槍沖刷石英管內(nèi)/外壁。將水槽內(nèi)的水排空后用水槍沖刷石英管內(nèi)外壁約5分鐘。
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